2026 年 9 月 20 日,上海理工大学颗粒多相流智能测量与计算研究中心周骛教授团队到访盛美半导体设备(上海)股份有限公司,开展产学研深入交流。盛美半导体王坚总经理带领企业研发骨干参与座谈。本次交流聚焦高校前沿基础研究成果赋能国内高端半导体装备研发,持续深化校企协同创新。
座谈环节,蔡天意博士代表研究团队作专题汇报,系统介绍了能源与动力工程学院学科发展特色、颗粒多相流智能测量与计算研究中心科研平台、师资力量与团队建设概况,重点展示团队在颗粒与两相流光学测量、高精度数值仿真方向长期积累的技术体系与最新科研成果,分享相关技术在微尺度流场表征、颗粒动态识别、多相过程定量分析等场景下的研究进展与技术优势。盛美半导体研发团队结合企业装备研发实际,详细介绍了国产半导体装备自主研发进程中,在微颗粒在线检测、复杂腔体内流场测量与仿真等方面面临的关键技术痛点与产业化应用需求。
校企双方围绕半导体核心工艺环节中的潜在合作项目展开深入研讨,针对工艺腔内部流体输运、颗粒产生与迁移行为精准表征等关键科学与工程问题充分交换观点,对技术可行性、应用场景、落地难点进行细致交流,并就后续开展联合技术攻关、校企人才联合培养、共建长期稳定产学研合作机制等事宜进行磋商,初步形成后续合作推进思路。
本次实地交流,进一步打通了高校基础研究与半导体装备产业实际需求的对接通道,推动先进颗粒及多相流测量仿真技术向半导体高端装备场景落地转化,为双方在颗粒及多相流测量仿真领域开展深层次产学研协同创新奠定坚实基础,助力国产半导体装备技术自主发展。

双方合照





